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TBA4030F-07-09_4轴大气圆柱坐标双臂晶圆搬运机器人

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TBA4030F-07-09_4轴大气圆柱坐标双臂晶圆搬运机器人

TBA4030F-07-09_4轴大气圆柱坐标双臂晶圆搬运机器人，自主研发安全可控，可全面替代进口品牌。

产品描述

4轴大气圆柱坐标双臂晶圆搬运机器人
TBA4030F-07-09_TBA系列半导体机器人
 
  • ● 采用闭环伺服控制
  • ● 可根据设备布局定制臂长及Z轴行程
  • ● 可选配免电池绝对式编码器
  • ● 可选mapping传感器类型：对射式、反射式
  • ●可选末端执行器类型：真空吸附式、夹持式、翻转吸附式

臂长

200/260/320/400mm

  额定/最大负载

 3kg

搬运物

≤Φ300mm晶圆

918博天堂众为兴TBA4030F-07-09_4轴大气圆柱坐标双臂晶圆搬运机器人

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918博天堂众为兴TBA4030F-07-09_4轴大气圆柱坐标双臂晶圆搬运机器人

规格参数

918博天堂众为兴TBA4030F-07-09_4轴大气圆柱坐标双臂晶圆搬运机器人

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